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Évaporateur dépôts couches minces Méca 2000

Évaporateur dépôts couches minces Méca 2000

Bâti d’évaporation utilisant un canon à électrons de 5 kW à 8 creusets
Le pompage est réalisé par 2 pompes : une turbo moléculaire et une cryogénique
Le vide limite est dans la gamme des 1E-7 mbar au bout d’une journée
Les substrats peuvent être d’une dimension de 200 x 150 mm maximum à une distance 350 mm de la source. Le substrat peut être rapproché à 110 mm de la source mais ces dimensions seront moindre
Les épaisseurs de couche sont estimées par une balance à quartz

Options possibles :
Un chauffage du porte substrat peut atteindre 400°C maximum
Un circuit d’azote liquide peut refroidir ce même porte substrat
La température du substrat est contrôlée par une sonde thermocouple durant l’évaporation
Une injection de gaz (argon) est réalisable
Un bras supportant un masque face au substrat peut se translater de 25 mm pour réaliser des marches ou autres
Un canon à ions à large angle solide est en cours de caractérisation

Matériaux déjà réalisés en couche : tungstène, aluminium, titane, chrome, argent, or, silice
  • Localité : Talence (33405)
  • Marque : Méca 2000
  • Modèle : PVD-10
  • Matériel transportable : Non
  • Pays d'émission du matériel : France

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